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水蒸气喷射真空泵是有一定压力的工作水蒸气通过拉瓦尔喷嘴，减压增速以超音速在吸入室与被抽介质混合，携带被抽介质一起向前运动，进入扩压管减速增压，排至下一级喷射器或大气，从而在吸入室形成真空。用于用户对真空度要求不同，每台蒸气喷射真空泵可由单级或数级喷射器串接。级数越多，真空度越高。
